微影技术侵权? 光学巨擘再掀专利战

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Nikon 在一份声明中指出,ASML 和 Carl Zeiss 在取得授权的情况下,采用了 Nikon 的11项欧洲专利技术,运用在 ASML 的浸润式微影系统中…

日本光学大厂Nikon日前对荷兰半导体设备厂ASML及其镜头供应商Carl Zeiss提起法律诉讼,要求在德国、日本和荷兰的法院裁定禁止ASML销售浸润式微影系统并寻求损坏赔偿。根据路透社(Reuter)报导,这是自去年底长期的专利纠纷谈判陷入僵局后Nikon所采取的最新行动。

在荷兰,Nikon针对ASML侵权的11项欧洲专利中的每一项发布个别诉讼案。其中的一件诉讼案在德国曼海姆(Mannheim)还引用两项欧洲专利;德国曼海姆正是Zeiss为ASML制造光学元件之处。此外,Nikon还在东京地方法院主张两项针对ASML的日本专利。

Nikon总裁兼代表处主任Kazuo Ushida表示:“我们坚信ASML未经授权使用了Nikon专利的最先进技术,包括浸润式微影技术,这使得ASML得以扩展其微影业务。”

ASML执行长Peter Wennink则指出:“Nikon提起的诉讼毫无根据且不必要,徒增半导体产业的不确定性。过去几年来,ASML已经多次尝试与Nikon协商延长交叉授权协议,但Nikon并未认真与我们协商,而是选择了采取法律行动。”

今年1月,ASML发布2016年营收达到67.95亿欧元(约73.7亿美元)的新高记录。Nikon则宣称其浸润式进器专利的销售约有35亿欧元(38亿美元)。

两家公司之间的纠纷可追溯到2001年12月,当时Nikon在美国提起侵权诉讼。Nikon、ASML和Zesis在2004年在部份专利上达成合解,授权期限在 2009 年到期。

双方协议其专利过渡期在2014 年底到期。Nikon称在2010年开始尝试与ASML和Zesis重新谈判新的协议。

市场调查公司VLSI Research总裁G. Dan Hutcheson表示:“奇怪的是这两家公司怎么会糊涂到忘记签授权协议?我很惊讶ASML居然让事情进展到这一步,因为它们一点也不缺现金。”

“Nikon是1990年代初微影系统的领导厂商,市占率超过60%。它是第一家公开研究当今浸润式技术的公司之一。然而,Nikon选择继续在日本发展,而ASML则采取与晶片制造商及其晶圆厂合作的方式获得了成功。”

根据VLSI Research的调查报告,目前,ASML在微影市场的市占率达到84%,浸润式步进器占93%,远远地将位居市场第二的Nikon抛在后面。Nikon在全球微影市场中仅占9%。

Hutcheson说:“所以发生这起诉讼并不奇怪,Nikon正努力地尝试拿回一些他们在浸润式技术研发的投资报酬。”

(参考原文:Nikon Renews Patent Battle with ASML,by Rick Merritt)
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